用于大尺寸液晶屏制造设备的退火工序的准分子激光器

本文摘要：日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣告，研发出有了用作生产平板显示器（FPD）的大于激光退火工序用准分子激光器GIGANEX系列。不久前将该激光器配有在日本V-Technology公司的大于激光退火装置上，供货给了大尺寸液晶屏生产设备工厂用作LTPS（低温多晶硅）TFT液晶面板生产。

日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣告，研发出有了用作生产平板显示器（FPD）的大于激光退火工序用准分子激光器GIGANEX系列。不久前将该激光器配有在日本V-Technology公司的大于激光退火装置上，供货给了大尺寸液晶屏生产设备工厂用作LTPS（低温多晶硅）TFT液晶面板生产。　　GIGANEX准分子激光器的机壳示意图（照片出自于Gigaphoton的新闻公布资料）　　这是一款应用于高可靠性半导体光刻用准分子激光器的热处理用准分子激光器，是仅供V-Technology生产的装置用于的专用机。

通过引入有数的a-Si（非晶硅）面板生产工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）结晶化，可生产用以往a-Si无法生产的8K等低细致面板。　　另外还可实现以往激光退火工艺无法构建的大型面板尺寸的生产，可符合生产50～70英寸TV面板的大尺寸液晶生产设备工厂的拒绝。　　GIGANEX是面向FPD生产、柔性器件工艺及光刻以外的半导体生产等领域的准分子激光器产品的新品牌。

Gigaphoton已在5月22～27日于美国举办的DisplayWeek2016上，展览了用GIGANEX生产的批量生产面板。

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